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半导体厂节能新突破:水源热泵实现冷却水降温与电镀加热协同增效

       在半导体制造业中,能源消耗一直是企业运营的重要成本之一,尤其是冷却水系统和电镀加热环节,两者的能耗占比居高不下。如何实现这两个环节的能源高效利用,成为半导体厂降本增效的关键。而水源热泵技术的应用,成功实现了在为冷却水降温的同时,吸收其中的热量制取 80℃高温热水用于电镀加热,为半导体厂开辟了一条绿色节能的新路径。



       半导体生产过程中,设备运行会产生大量热量,需要通过冷却水系统及时降温,以保证生产设备的稳定运行。传统的冷却水降温方式通常是通过冷却塔将热量直接排放到空气中,这不仅造成了能源的浪费,还可能对周围环境产生热污染。与此同时,半导体电镀环节又需要大量 80℃左右的高温热水进行加热,传统做法往往是通过电加热或燃气锅炉加热,消耗大量的一次能源,成本高昂且碳排放量大。



       水源热泵技术的出现,解决了这一矛盾。它以半导体厂的冷却水为热源,通过热泵机组的循环运作,在为冷却水降温的同时,将其中的低品位热量转化为高品位热能,制取 80℃高温热水,直接供给电镀工序使用。这一过程实现了能源的梯级利用,大幅提高了能源利用率。



       从工作原理来看,水源热泵系统主要由蒸发器、压缩机、冷凝器和膨胀阀四大核心部件组成。当温度较高的冷却水进入蒸发器后,与制冷剂进行热交换,冷却水释放热量后温度降低,重新回流到生产设备中循环使用;制冷剂吸收热量后蒸发为气态,经压缩机压缩升温升压,成为高温高压的气态制冷剂;随后,高温高压的制冷剂进入冷凝器,与需要加热的冷水进行热交换,释放出热量使冷水升温至 80℃,满足电镀加热需求,而制冷剂则冷凝为液态,经膨胀阀节流降压后再次进入蒸发器,完成一个循环。



       这种技术应用具有多重显著优势。首先是节能效益显著,相比传统的冷却水降温与电镀加热分开运行的模式,水源热泵可节约能源消耗 30% - 50%。因为它无需额外消耗大量能源来加热冷水,而是充分利用了冷却水中的废热,实现了 “变废为宝”。

       其次是环保性能突出,传统的电加热或燃气锅炉加热方式会产生大量的二氧化碳等温室气体,而水源热泵在运行过程中,仅消耗少量的电能来驱动压缩机等设备,大大减少了碳排放,符合低碳环保要求,助力半导体厂实现绿色生产。



       再者是运行稳定可靠,水源热泵系统受外界环境影响较小,只要冷却水系统正常运行,就能稳定地提供高温热水。同时,该系统自动化程度高,可实现无人值守,降低了人工运维成本。

       此外,经济效益可观,虽然水源热泵系统的初期投资相对较高,但从长期运行来看,其节能带来的成本节约十分明显。以一家中型半导体厂为例,采用水源热泵技术后,每年可节约电费数十万元,一般 1-2年即可收回初期投资,后续将持续为企业创造收益。



       在实际应用中,已有不少半导体厂通过引入水源热泵技术,取得了良好的经济效益和环境效益。某半导体企业在改造前,冷却水系统每年耗电约 200 万度,电镀加热每年耗电约 150 万度;改造后,通过水源热泵系统,冷却水降温能耗降低了 40%,电镀加热基本无需额外耗电,每年可节约电费近百万元,同时减少碳排放约 500 吨。



       综上所述,水源热泵技术在半导体厂中用于冷却水降温并同时制取 80℃高温热水给电镀加热,是一种高效、节能、环保的创新模式。它不仅为半导体厂带来了显著的经济效益,也为行业的节能减排和可持续发展做出了积极贡献。





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